Đặc điểm :
- Cải thiện độ phân giải
Độ phân giải của CFD-1T-B đã được cải thiện rất nhiều so với các mẫu hiện có của chúng tôi. Lưu lượng tối thiểu 1mL / lần bắn mang lại độ chính xác cao hơn trong việc kiểm soát ngưng tụ hóa chất được yêu cầu trong quy trình làm sạch tấm wafer. CFD-1T-B luôn cung cấp lượng hóa chất chính xác mà không bị quá tải, loại bỏ lãng phí chất lỏng dư thừa. Ngoài ra, cơ chế chống siphon giúp ngăn chặn tình trạng siphon không chủ ý.
- Đầu ướt chống ăn mòn
.Các đầu ướt bằng nhựa dẻo flo (PTFE, PFA, PCTFE) có khả năng xử lý các axit mạnh, kiềm và hydrogen peroxide cần thiết cho quá trình xử lý chất bán dẫn. Các bộ phận bên ngoài PTFE, PFA, PP, PVC và vít phủ PTFE cung cấp thêm lớp bảo vệ chống lại sự tấn công của hóa chất.
- Điều chỉnh tốc độ dòng chảy
.Đơn giản chỉ cần mở nắp dưới cùng để dễ dàng điều chỉnh độ dài nét vẽ để cung cấp từ 1,0 - 2,7ml / lần bắn. (Mặc định ban đầu là 1.0ml / shot)
- Cảm biến rò rỉ
Mỗi thiết bị đều được trang bị một cảm biến rò rỉ để phát hiện bất kỳ sự rò rỉ nào ngay lập tức.
