Đặc điểm :
- Nâng cao hiệu quả làm sạch
Hiệu quả làm sạch như loại bỏ các hạt và ô nhiễm kim loại trên tấm wafer được cải thiện khi tốc độ dòng tuần hoàn được tăng lên. Thời gian làm sạch do số lượng dây chuyền chế biến tăng lên cũng sẽ giảm do tốc độ luân chuyển cao hơn
- Không nhiễm bẩn
Ngoài việc sử dụng các đầu ướt fluoroplastic (PTFE và PFA), một lớp phủ flo trên bề mặt bên ngoài của máy bơm mang lại khả năng chống hơi tốt nhất từ hóa chất axit, kiềm và hydro peroxit được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn
- Tiết kiệm trọng lượng
Việc tối ưu hóa thiết kế đã giúp giảm trọng lượng khoảng 15% so với các mẫu 80-100L hiện có của chúng tôi, giúp công việc lắp đặt và thay thế trở nên dễ dàng hơn
