Đặc điểm :
- Việc sử dụng ống thổi dày cho phép máy bơm xả chất lỏng dưới áp suất cao nhất là 0,45 MPa. Hơn nữa, ống thổi có tuổi thọ cao gấp 3, 4 lần so với màng chắn. Do đó, thời gian chết có thể được giảm đáng kể.
- Ngoài việc sử dụng để cấp chất lỏng hóa học, dòng FW được chỉ định cho áp suất cao và nhiệt độ trung bình (10 - 100˚C) có thể sử dụng trong hệ thống làm sạch và để tuần hoàn chất lỏng bùn CMP và dòng FW-H cho áp suất cao và nhiệt độ cao (10 - 180 ° C) có thể sử dụng như một máy bơm tuần hoàn trong hệ thống làm sạch
- Các bộ phận phù hợp để hút và xả có cấu trúc hình ống PFA được hình thành liền mạch. Điều này ngăn các hạt tích tụ và cho phép sử dụng các khớp nối có sẵn trên thị trường.
.Khi được kết nối với một bộ điều khiển đặc biệt, việc phóng điện có thể được kiểm soát và giám sát một cách dễ dàng
