Đặc điểm :
- Có hai mô hình tiêu chuẩn hóa; FA-2E, loại bên cho tốc độ dòng chảy thấp và FA-40VEW, loại dọc cho tốc độ dòng chảy cao. FA-2E sử dụng hệ thống phun để xử lý wafer đơn trong khi FA-40VEW thích hợp để làm sạch wafer 200/300 mm.
- Ống thổi dày hình chữ H được sử dụng (Chỉ FA-40VEW). Chúng có khả năng chống chịu áp suất cao tuyệt vời và tuổi thọ cao để chịu được hoạt động liên tục trong thời gian dài. Khi được kết nối với một bộ điều khiển đặc biệt, việc phóng điện có thể được kiểm soát và giám sát một cách dễ dàng
