Đặc điểm :
- Tốc độ hành trình cao
Tốc độ hành trình nhanh của máy bơm (Tối đa 200spm: FS-80N) cho phép sự nhỏ gọn, trọng lượng nhẹ và chi phí thấp đồng thời cho phép khả năng lưu lượng và áp suất cao.
- Không nhiễm bẩn
Tất cả các đầu ướt được làm bằng fluororesin để tạo ra kết cấu không nhiễm bẩn. Phớt trục độc đáo của chúng tôi cũng làm giảm đáng kể sự phát sinh hạt (Được bảo vệ bằng sáng chế: FS-80N).
- Khả năng lưu lượng và áp suất cao
Áp suất không khí cung cấp tối đa là 0,7MPa không chỉ đáp ứng nhu cầu về khả năng lưu lượng và áp suất cao trong các quy trình cung cấp hóa chất mà còn cả các yêu cầu trong quy trình làm sạch / CMP.
- Ổ cảm biến
Tích hợp cảm biến khoảng cách đóng / mở van điện từ. Kiểm soát tốc độ dòng chảy có thể được đảm bảo và tạo điều kiện thuận lợi khi chúng được sử dụng với bộ điều khiển của chúng tôi.
