Đặc điểm :
- Xung đột thấp
Vị trí của ống thổi được giám sát liên tục thông qua cảm biến dịch chuyển laser và công tắc khoảng cách. Máy bơm tự giảm xung mà không cần bất kỳ thiết bị bổ sung nào vì bộ điều khiển xác định lượng dịch pha thích hợp cần thiết để di chuyển ống thổi sang trái và phải thông qua van điện từ
- Giảm cảm biến
Cảm biến bên ngoài là không cần thiết vì điều khiển pha máy bơm của ống thổi phụ thuộc hoàn toàn vào tín hiệu từ cảm biến laser và cảm biến tiệm cận có trong thiết kế
- Áp suất cao
Sự chuyển động của ống thổi tối ưu làm tăng khả năng áp suất bền vững, duy trì khả năng xả và áp suất ổn định trong điều kiện tải thường xuyên thay đổi, đặc biệt là trong xử lý wafer đơn
- Thiết kế an toàn
Cấu trúc ống thổi hàn ngăn rò rỉ chất lỏng. Ngay cả khi ống thổi bị hỏng, các cảm biến rò rỉ tích hợp sẽ phát hiện và cung cấp phản hồi để đảm bảo hoạt động an toàn.
