Đặc điểm :
- Độ chính xác cao
Bộ phân phối dòng SB đo / phân phối chính xác chất lỏng hóa học như chất cản quang. Khối lượng mỗi lần chụp rất chính xác để đảm bảo lượng chất cản quang được sử dụng tối ưu. Việc sử dụng một bộ phận hút ngược tùy chọn giúp ngăn chặn sự nhỏ giọt từ vòi phun. Hầu như không có khối lượng chết trong ống thổi, do đó, khả năng ứ đọng dung dịch được giảm thiểu
.Thiết kế hình trụ siêu chậm và không nối tiếp cho phép định lượng photoresist tốc độ thấp với ít khả năng bị kẹt không khí hơn.
- Đầu ướt không gỉ / Flo
.Đầu ướt không gỉ (SUS304) và flo (PTFE / PFA) có sẵn cho các chất lỏng khác nhau và đảm bảo chống ăn mòn tốt và giao hàng không nhiễm bẩn. Thích hợp nhất để cung cấp photoresist có độ phân giải / độ tinh khiết cao.
- Thiết kế nhẹ và nhỏ gọn
.Máy bơm có thể được lắp theo cả chiều dọc và chiều ngang (ngoại trừ SB-4K / -5 / -6), cho phép cấu hình hệ thống tốt nhất và đủ nhỏ gọn để lắp trong một không gian lắp đặt hạn chế. Ngoài ra, tùy chọn có sẵn một nút cơ học giúp tinh chỉnh thể tích định lượng và một bộ dò vị trí đảm bảo chuyển động chính xác của piston trong xi lanh.
